非极性氧化锌薄膜外延生长及掺氮改性的研究与突破.docx

非极性氧化锌薄膜外延生长及掺氮改性的研究与突破

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代光电器件领域，氧化锌（ZnO）薄膜凭借其独特的物理性质，如宽禁带（约3.37eV）、较大的激子束缚能（60meV）以及良好的化学稳定性和热稳定性，展现出巨大的应用潜力，被广泛应用于发光二极管、激光二极管、紫外探测器等光电器件中。这些优异的特性使得ZnO在短波长光电器件的研发中成为备受瞩目的材料之一，有望为光电器件的发展带来新的突破，推动相关领域如光通信、光显示、生物医疗检测等向更高性能、更小尺寸、更低能耗的方向发展。

然而，目前ZnO光电器件的发展面临着一个关键的瓶颈问题，即高质量p型Zn