CN107479260A Coa基板及其制作方法、显示面板 （深圳市华星光电技术有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN107479260A

(43)申请公布日2017.12.15

(21)申请号201710803296.4

(22)申请日2017.09.08

(71)申请人深圳市华星光电技术有限公司

地址518132广东省深圳市光明新区塘明

大道9-2号

(72)发明人贺晖

(74)专利代理机构深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304

代理人孙伟峰顾楠楠

(51)Int.CI.

GO2F1/1339(2006.01)

GO2F1/1362(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图3页

(54)发明名称

COA基板及其制作方法、显示面板

(57)摘要

CN107479260A本发明提供了一种COA基板，包括基板以及依次形成于基板上的栅极、栅极绝缘层、有源层、源极、漏极、第一钝化层、色阻层、第二钝化层、像素电极、黑色矩阵和隔离柱，所述像素电极经过孔与漏极接触，还包括用于形成不同高度的隔离柱的垫块，所述垫块设置在与色阻层相同的一层上，所述垫块设置于黑色矩阵的区域中且与隔离柱的位置相对。本发明还提供了一种COA基板的制作方法以及显示面板。与现有技术相比，从而

CN107479260A

CN107479260A权利要求书1/1页

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1.一种COA基板，包括基板(1)以及依次形成于基板(1)上的栅极(2)、栅极绝缘层(3)、有源层(4)、源极(5)、漏极(6)、第一钝化层(7)、色阻层(81)、第二钝化层(9)、像素电极(10)、黑色矩阵(11)和隔离柱(12),所述像素电极(10)经过孔与漏极(6)接触，其特征在于：还包括用于形成不同高度的隔离柱(12)的垫块(82),所述垫块(82)设置在与色阻层(8)相同的一层上，所述垫块(82)设置于黑色矩阵(11)的区域中且与隔离柱(12)的位置相对。

2.根据权利要求1所述的COA基板，其特征在于：所述垫块(82)包括第一垫块(821)和第二垫块(822),所述第一垫块(821)的厚度大于第二垫块822的厚度。

3.根据权利要求2所述的COA基板，其特征在于：所述隔离柱(12)包括主隔离柱(121)和次隔离柱(122),所述第一垫块(821)与主隔离柱(121)位置相对，第二垫块(822)与次隔离柱(122)位置相对，使主隔离柱(121)和次隔离柱(122)高度不同。

4.根据权利要求1-3所述的COA基板，其特征在于：所述垫块82与色阻层81采用相同的光阻材料。

5.一种COA基板的制作方法，其特征在于：包括如下步骤：

在第一钝化层(7)上形成色阻层(81)的同时形成用于形成不同高度的隔离柱(12)的垫块(82);

在色阻层(81)以及垫块(82)上形成第二钝化层(9);

在第二钝化层(9)上形成连接漏极(6)的过孔；

在第二钝化层(9)上形成透明导电层，对透明导电层进行图形化处理形成像素电极(10),所述像素电极(10)经过孔与漏极(6)接触；

在像素电极(10)以及第二钝化层(9)上覆盖黑色光阻材料，通过光刻工艺形成黑色矩阵(11)以及隔离柱(12),所述垫块(82)设置在形成黑色矩阵(11)的区域中并且与隔离柱(12)位置相对，从而使隔离柱(12)具有不同的高度。

6.根据权利要求5所述的COA基板的制作方法，其特征在于：通过光刻工艺形成黑色矩阵(11)以及隔离柱(12)中黑色矩阵(11)和隔离柱(12)使用相同的曝光量进行曝光。

7.根据权利要求5所述的COA基板的制作方法，其特征在于：所述垫块(82)包括第一垫块(821)和第二垫块(822),所述第一垫块(821)的厚度大于第二垫块822的厚度。

8.根据权利要求5-7所述的COA基板的制作方法，其特征在于：所述垫块(82)与色阻层

(81)采用相同的光阻材料。

9.根据权利要求5所述的COA基板的制作方法，其特征在于：所述黑色光阻材料的流平性的等级为0-7。

10.一种显示面板，其特征在于：包括如权利要求1-4任意一项所述的COA基板。

CN107479260A说明书1/5页

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COA基板及其制作方法、显示面