CN107819054B 一种直接x射线探测结构、探测器及探测结构制作方法 （国家纳米科学中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN107819054B

(45)授权公告日2019.06.14

(21)申请号201710972261.3

(22)申请日2017.10.18

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN107819054A

(43)申请公布日2018.03.20

(73)专利权人国家纳米科学中心

地址100190北京市海淀区中关村北一条

11号

HO1L31/18(2006.01)

GO1T1/28(2006.01)

(56)对比文件

US2009224138A1,2009.09.10,说明书第0003-0025段，附图1-6.

JP4384006B2,2009.12.16,说明书第0001-0028段，附图1-2.

CN104011891A,2014.08.27,说明书第

0004-0091段，附图1-3.

(72)发明人戴庆李振军周圣涵

白冰李驰陈科审查员邢磊

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

11332

代理人孟金喆

(51)Int.CI.

H01L31/119(2006.01)