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高温扩散用硅舟及硅保温筒及编制说明.pdf

高温扩散用硅舟及硅保温筒及编制说明.pdf

    国家标准

    高温扩散用硅舟及硅保温筒

    编制说明

    （征求意见稿）

    标准编制组

    1工作简况

    1.1立项目的和意义

    高温扩散炉用硅舟及硅保温筒主要用于8～12英寸晶圆的氧化、扩散及退火工艺中。在集成电路

    制造工艺过程中，采用高纯度硅材料制备的硅舟及硅保温筒与晶圆为相同硅材料，具备与晶圆更好的

    工艺兼容性，是当前碳化硅舟及石英舟的有效替代产品，因此广泛应

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