CN106152930A 一种高灵敏柔性可穿戴应变传感器及其低成本制作方法 （北京科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN106152930A

(43)申请公布日2016.11.23

(21)申请号201610475099.X

(22)申请日2016.06.24

(71)申请人北京科技大学

地址100083北京市海淀区学院路30号

(72)发明人张跃顾有松陈峰岭徐玉亮冯世安

(74)专利代理机构北京金智普华知识产权代理有限公司11401

代理人皋吉甫

(51)Int.CI.

G01B7/16(2006.01)

B82Y30/00(2011.01)

B82Y40/00(2011.01)

权利要求书1页说明书4页附图2页

(54)发明名称

一种高灵敏柔性可穿戴应变传感器及其低成本制作方法

(57)摘要

CN106152930A本发明属于传感器领域，具体涉及一种高灵敏柔性可穿戴应变传感器及其低成本制作方法。所述传感器包括柔性基底、位于柔性基底上的敏感层和位于敏感层两端的电极，敏感层为石墨纳米颗粒膜，敏感层使用热蒸发沉积方式制备。本发明的传感器的敏感层和电极之间为欧姆接触。敏感层是纳米级别的连续石墨颗粒膜，当传感器受到外界的应变的时候，纳米颗粒之间接触发生迅速响应，改变导电路径和接触面积，从而自身电阻发生明显变化，将输入的应变转变为电信号输出，能够实现高灵敏的应变探测，且响应时间

CN106152930A

CN106152930A权利要求书1/1页

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1.一种高灵敏柔性可穿戴应变传感器，包括柔性基底、位于所述柔性基底上的敏感层和位于所述敏感层两端的电极，其特征在于，所述敏感层为石墨纳米颗粒膜。

2.如权利要求1所述应变传感器，其特征在于，所述石墨纳米颗粒膜的厚度为30~120nm,所述石墨纳米颗粒膜由直径为30～60nm的石墨纳米颗粒组成。

3.如权利要求1所述应变传感器，其特征在于，所述电极包括银胶层和铜线，所述银胶层连接所述敏感层和所述铜线。

4.如权利要求1所述应变传感器，其特征在于，所述柔性基底为PET或聚对笨二甲酸乙二醇脂。

5.一种低成本制备权利要求1-4任一所述应变传感器的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)清洗：将所述柔性基底分别用乙醇和去离子水在300w各超声10-20min,得到超净柔性基底；

(2)掩膜：在所述超净柔性基底两端粘贴3M胶带，得到掩膜柔性基底；

(3)沉积：用真空蒸镀机，在真空下，通过向与所述真空蒸镀机的两蒸镀电极相连的石墨源施加电流，使所述石墨源蒸发，进而使所述石墨纳米颗粒沉积在位于样品台上的所述掩膜柔性基底上，得到带有敏感层的柔性基底；所述石墨源与样品台的距离可调节，可通过调节所述施加电流的大小、所述石墨源与样品台的距离来调节沉积速率；通过调节施加电流的时间来调节沉积厚度；

(4)去掩膜：将所述带有敏感层的柔性基底上的3M胶撕去，得到缺电极应变传感器；

(5)涂电极：将铜线置于所述缺电极应变传感器上，用刮涂方法在所述缺电极应变传感器上刮涂银胶，随后室温放置5-10min,制备得到所述应变传感器。

6.如权利要求5所述方法，其特征在于，所述的沉积速率为1nm/s。

7.如权利要求5所述方法，其特征在于，所述石墨源为碳棒，所述碳棒的一端削成尖状。

8.如权利要求5所述方法，其特征在于，所述真空为1×10?2~1×10?3torr。

9.如权利要求5所述方法，其特征在于，所述施加电流的大小为30～50A的电流，所述施加电流的时间为40-150s。

10.如权利要求5所述方法，其特征在于，所述石墨源与样品台的距离为8-12cm。

CN106152930A说明书1/4页

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一种高灵敏柔性可穿戴应变传感器及其低成本制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及应变传感技术领域，尤其涉及一种高灵敏柔性可穿戴应变传感器及其低成本制作方法。

背景技术

[0002]传感器是一种感受规定的被测量，把被测的量按一定规律将其转换为有用信号的器件或装置。在外界因素的作用下，所有材料都会做出相应的、具有特征性的反应。其中对外界作用最敏感的材料，即具有功能特性的材料，被用来制