CN107293550B 存储器元件及其制作方法 （旺宏电子股份有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN107293550B公告日2019.10.01

(21)申请号201610879742.5

(22)申请日2016.10.09

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN107293550A

(43)申请公布日2017.10.24

(30)优先权数据

15/096,7852016.04.12US

(73)专利权人旺宏电子股份有限公司

地址中国台湾新竹科学工业园区力行路16号

(72)发明人陈士弘

(51)Int.CI.

HO1L27/11551(2017.01)

HO1L27/11556(2017.01)

(56)对比文件

US6933556B2,2005.08.23,

US8154068B2,2012.04.10,

US2016086969A1,2016.03.24,审查员苍凯

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

公司11021代理人乔东峰

权利要求书4页说明书15页附图13页

(54)发明名称

存储器元件及其制作方法

33B

33B