1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 计算机
  5. 存储技术

CN112447502B 基片处理装置、基片处理方法和存储介质 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

  • 1
  • 0
  • 约2.46万字
  • 约 45页
  • 2026-03-09 发布于山西
  • 举报

CN112447502B 基片处理装置、基片处理方法和存储介质 （东京毅力科创株式会社）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN112447502B

    (45)授权公告日2025.05.20

    (21)申请号202010878313.2

    (22)申请日2020.08.27

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN112447502A

    (43)申请公布日2021.03.05

    (30)优先权数据

    2019-1602742019.09.03JP

    (73)专利权人东京毅力科创株式会社地址日本东京都

    (72)发明人田中启一

    (74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司11322

    专利代理师龙淳刘芃茜

    (51)Int.

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >