MEI-PNL05电镀微蚀线操作指示.docVIP

JiangsuHuashenElectronicsCo.,Ltd

江苏华神电子有限公司

文件名称

电镀微蚀线操作指示

文件编号

MEI-PNL05

版本/次

B0

页次

PAGE\*Arabic7of7

修订履历

版本

修订内容

制订人

生效日期

会签（由文件制订人“(√)”出此文件需会签部门)

部门经理

签名

部门经理

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部门经理

签名

总经理()

厂长()

品质部()

生产部()

制作工程部()

市场部()

人事行政部()

产品工程部()

计划部()

物控部()

设备部()

发行确认

批准

审核

制订

目的

为电镀微蚀生产线建立一个标准操作规范。

范围

本规定适用于电镀微蚀生产流程。

责任

3.1生产部负责实施日常操作和保持工艺参数/条件；

3.2制作工程部负责为生产中出现的问题供技术支援；

3.3设备部负责为生产设备提供维修保养服务；

3.4品质保证部负责生产按照MEI指示执行的稽查及监督

定义

无

作业内容

5.1开机前检查

5.1.1检查并调整药水缸、水洗缸至标准液位。

5.1.2检查所有过滤网是否需清理及更换；

5.1.3确保所有外盖及过滤筒盖均已盖好；

5.1.4检查所有阀门打到正确位置；

5.1.5确保排气系统工作正常；

5.1.6确保传动系统工作正常；

5.1.7检查并清洗堵塞喷嘴，确保喷嘴未被堵塞；

5.2开机程序

5.2.1打开电源面板上总电源；

5.2.2依次将各流程的开关按扭置于工作状态；

5.2.3根据各缸工艺流程需要，设定各电热段所需工作温度；

5.2.4按下起动开关中的“起动”按扭，按扭变蓝色，全线各流程的液泵，加热管等分段延时工作；

调整速度旋转按钮，输送速度控制在3.0±1M/MIN；

调整喷淋压力至设定范围，温度升到设定范围，即可投入生产；

生产期间定时检查项目

5.2.5喷压是否符合要求；

5.2.6喷雾形状是否成扇形；

5.2.7各缸液位是否正常；

5.2.8注意集合指示灯的警示；

5.3药水开缸

5.3.1微蚀槽开缸药水的配制：

1）先加入DI水到1/2水位处；

2）依次加入7.5LH2O2(35%)(双氧水)、6LH2SO4(98%)（分析纯）；

3）加DI水到标准液位；

4）开启喷淋循环30分钟后才能做板。

5.3.2微蚀槽副槽药水的配制：

1）先加入DI水到1/2水位处

2）加入40LH2O2（35%）

3）加入16LH2SO4(98%)

4）加入DI水到400L处；搅拌均匀。

5.3.4酸洗液的配制；

1）向酸洗缸加水至标准液位的2/3水位，缓慢加入3.0L（98%）的浓硫酸；

2）再加水至标准液位并开喷淋。

5.3.5微蚀缸药水换缸方法：

1）药水微蚀缸换缸方法：将微蚀缸药水排尽后，从微蚀添加缸内抽取140L配备好的药水，加水至标准液位的2/3水位，缓慢加入4L（98%）的浓硫酸，再加入5.0LH2O2(35%)(双氧水)补加水至标准液位并开喷淋循环均匀。

2）微蚀缸副缸换缸方法：换缸时排掉2/3缸药水，保留1/3缸母液，根据化验补料单添加药水后再加DI水到标准液位后循环20min。大保养时需用大号手动泵抽取母液装桶，以备保养后开缸所用。

3）微蚀缸后各水洗段用DI水开缸；

5.4各缸药水参数控制：

项目

控制项目

范围

备注

水洗

上下压力

1.5~2.5kg/cm2

微蚀缸

自动添加频率

55秒/100PNLS

微蚀添加缸药水补加：88KgH2O2/120L微蚀剂

H2SO4

5±1%

药水每班化验一次

H2O2

3.5±1%

Cu2+

Cu2+≤35g/L

温度

28±2℃

上压

1.5±0.5kg/cm2

下压

1.5±0.5kg/cm2

微蚀量

20-40u″

酸洗

H2SO4

3±1%

压力

1.5±0.5kg/cm2

烘干段

温度设定

80±5℃

输送

速度

3.0±1.0m/min

5.5维护保养及频率：

缸名

保养内容

频度

微蚀段

药水换缸

Cu2+含量超出规定范围

检查喷嘴是否堵塞、偏流（可用牙签挑）

1次/班

清洗微蚀抽药泵过滤网

1次/班

各水洗缸换缸并冲洗过滤网

1次/班

冲洗吸水棉辘

1次/班

清洁出入板段

1次/班

擦洗机身

1次/班

水洗换缸并冲洗缸内壁、滤网

1次/班

酸洗换缸并冲洗内壁、滤网

1次/班

更换自来水过滤棉蕊

1次/班

检查所有传动齿轮是否脱齿、松动

1次/半月

检查并调整喷管方向（直线封闭）

1次/半月

5.6关机程序：

如欲关机请按以下步骤执行，切勿以紧急停止开关进行关机动作：

5.6.1确认线上的电路板已全部走出。

5.6.2如暂时停机可按“停止”键，但如入板段感应器光被遮挡时则机器会自