CN104752135B 等离子体处理装置及静电卡盘与静电卡盘的制作方法 （中微半导体设备(上海)有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN104752135B公告日2018.01.23

(21)申请号201310744220.0

(22)申请日2013.12.30

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN104752135A

(43)申请公布日2015.07.01

(73)专利权人中微半导体设备(上海)有限公司地址201201上海市浦东新区金桥出口加

工区(南区)泰华路188号

(72)发明人左涛涛吴狄

(74)专利代理机构上海智信专利代理有限公司

H01J9/00(2006.01)

(56)对比文件

EP0887853A2,1998.12.30,CN101378027A,2009.03.04,

CN101378027A,2009.03.04,CN101884161A,2010.11.10,CN102145913A,2011.08.10,CN103325725A,2013.09.25,EP0887853A2,1998.12.30,

审查员崔文凯

31002

代理人王洁

(51)Int.CI.

H01J37/32(2006.0