CN113013133B 半导体装置和制造半导体装置的方法 (安靠科技新加坡控股私人有限公司).docxVIP

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  • 2026-03-11 发布于山西
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CN113013133B 半导体装置和制造半导体装置的方法 (安靠科技新加坡控股私人有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN113013133B

(45)授权公告日2025.06.03

(21)申请号202011483941.7

(22)申请日2020.12.16

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113013133A

(43)申请公布日2021.06.22

(30)优先权数据

16/720,6862019.12.19US

(73)专利权人安靠科技新加坡控股私人有限公

地址新加坡市

(72)发明人矢田贵弘高岩司

(74)专利代理机构北京寰华知识产权代理有限公司11408

专利代理师何尤玉

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