CN102426060A 一种太赫兹或红外微测辐射热计及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102426060A

(43)申请公布日2012.04.25

(21)申请号201110248285.7

(22)申请日2011.08.26

(71)申请人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新区(西区)西

源大道2006号

(72)发明人许向东杨卓蒋亚东何琼敖天宏樊泰君黄龙温粤江

(74)专利代理机构成都华典专利事务所(普通合伙)51223

代理人徐丰杨保刚

(51)Int.CI.

G01JB81CB32B

5/20(2006.01)1/00(2006.01)9/00(2006.01)

权利要求书3页说明书9页附图5页

(54)发明名称

一种太赫兹或红外微测辐射热计及其制作方法

(57)摘要

CN102426060A1本发明公开了一种太赫兹或红外微测辐射热计，包括用于非制冷太赫兹探测器或非制冷红外探测器的微测辐射热计的微桥结构，该微桥结构中的热敏电阻材料和光吸收材料为氧化钒一富勒烯两元复合薄膜、或者是氧化钒一富勒烯一碳纳米管三元复合薄膜当中的一种。这种氧化钒复合膜分别由两维氧化钒与零维富勒烯两种成分、或者是两维氧化钒与零维富勒烯和一维碳纳米管三种成分相复合而成，该微测辐射热计及其制备方

CN102426060A

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CN102426060A权利要求书1/3页

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1.一种太赫兹或红外微测辐射热计，包括微桥结构，其特征在于，该微桥结构为三层夹心结构：最底层为一层非晶氮化硅薄膜，作为微桥的支撑与绝缘材料；中间层为一层或者多层热敏电阻材料和光吸收材料层；表层是一层非晶氮化硅薄膜，作为热敏薄膜的钝化层以及微桥应力的调控层；所述热敏电阻材料和光吸收材料层为氧化钒-富勒烯两元复合薄膜或氧化钒-富勒烯一碳纳米管三元复合薄膜当中的一种，所述氧化钒-富勒烯两元复合薄膜是由二维氧化钒与零维富勒烯两种成分相复合而成，所述氧化钒-富勒烯一碳纳米管三元复合薄膜是由两维氧化钒和零维富勒烯以及一维碳纳米管三种成分相复合而成。

2.一种太赫兹或红外微测辐射热计的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

①清洗含有集成电路的单晶硅片衬底，利用反应器沉积一层非晶二氧化硅膜作为钝化层，厚度为300~1500nm;

②在二氧化硅钝化层的表面，利用反应器沉积一层厚度为50~1000nm的金属铝，作为微桥的反射层；

③在反射层的表面光刻出悬浮微桥的桥墩图形，刻蚀金属铝层至下面的二氧化硅钝化层，形成微桥桥墩孔和金属铝孤岛；

④在上述金属铝孤岛的表面，旋涂一层厚度为1~6μm的光敏聚酰亚胺薄膜；

⑤对聚酰亚胺薄膜进行光刻处理，形成聚酰亚胺薄膜孤岛和悬浮微桥的桥墩孔，然后进行亚胺化处理；

⑥在聚酰亚胺薄膜孤岛和桥墩孔的表面，利用反应器沉积一层非晶氮化硅膜，厚度为10~1500nm,作为微桥的支撑与绝缘材料，然后，制备厚度为5~2000nm的氧化钒一富勒烯两元复合薄膜或氧化钒一富勒烯一碳纳米管三元复合薄膜两种复合薄膜当中的一种；

⑦利用反应器沉积一层厚度为10~1000nm的金属，图形化，作为器件的电极；

⑧利用反应器，在金属电极、以及氧化钒复合膜的表面，沉积覆盖一层非晶氮化硅膜，厚度为10~1500nm,作为电极和热敏薄膜的钝化层以及器件应力的调控层；

⑨在上述复合薄膜的表面光刻出悬浮微桥结构图形，刻蚀该复合薄膜层至聚酰亚胺层，形成悬浮微桥的桥面、桥腿和桥墩图形；

⑩采用氧等离子体去除桥面及桥腿图形下方的聚酰亚胺薄膜，形成空腔，构成微测辐射热计。

3.根据权利要求2所述的太赫兹或红外微测辐射热计的制备方法，其特征在于，氧化钒一富勒烯两元复合薄膜的制备包括以下步骤：

①清洗衬底，吹干后备用；

②事先准备好零维富勒烯，备用；

③氧化钒溶胶的制备：将氧化钒粉末与有机溶剂相混合，加热反应，然后通过离心分离，除去不溶物，提取上清液静置，再进行离心分离，如此反复，直至完全除去不溶物，获得没有沉淀的氧化钒有机溶胶，备用；

④氧化钒与富勒烯的反应：把经过步骤②准备的富勒烯与经过步骤③制备的氧化钒溶胶相混合，超声分散富勒烯，形成氧化钒与富勒烯相混合的新溶胶；

⑤复合薄膜的制备：把步骤④制备的氧化钒与富勒烯相混合的新溶胶旋涂在清洁的衬底表面，经过退火处理，蒸发掉有机溶剂，形成氧化钒一富勒烯两元复合薄膜；

⑥冷却至室温后，从反应器中取出；

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