CN113406359B 用于背面平面视图薄片制备的方法和系统 (Fei公司).docxVIP

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  • 2026-03-12 发布于山西
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CN113406359B 用于背面平面视图薄片制备的方法和系统 (Fei公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN113406359B

(45)授权公告日2025.06.06

(21)申请号202110276123.8

(22)申请日2021.03.15

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113406359A

(43)申请公布日2021.09.17

(30)优先权数据

16/8199452020.03.16US

(73)专利权人FEI公司地址美国俄勒冈州

(72)发明人J·克拉克B·劳思M·勒杜C·巴格

(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司72001

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