CN102892516A 薄膜的制作方法及制作装置 （富士胶片株式会社）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102892516A

(43)申请公布日2013.01.23

(21)申请号201180018833.5

(22)申请日2011.04.20

(30)优先权数据

2010-0986252010.04.22JP

(85)PCT申请进入国家阶段日

2012.10.12

(86)PCT申请的申请数据

PCT/JP2011/0597142011.04.20

(87)PCT申请的公布数据

WO2011/132704JA2011.10.27

(71)申请人富士胶片株式会社地址日本国东京都

(72)发明人冲和宏安藤广敏

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021

代理人蒋亭

(51)Int.CI.

B05D

B05B

B05B

B05B

B05B

HO1L

HO5B

1/02(2006.01)

1/24(2006.01)7/04(2006.01)

7/16(2006.01)

7/24(2006.01)51/50(2006.01)33/10(2006.01)

权利要求书2页说明书29页附图2页

(54)发明名称

薄膜的制作方法及制作装置

(57)摘要