CN102820262A 一种玻璃通孔的制作及互连的方法 （江苏物联网研究发展中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102820262A

(43)申请公布日2012.12.12

(21)申请号201210325657.6

(22)申请日2012.09.05

(71)申请人江苏物联网研究发展中心

地址214135江苏省无锡市新区菱湖大道

200号中国传感网国际创新园C座

(72)发明人于大全姜峰

(74)专利代理机构无锡市大为专利商标事务所

32104

代理人曹祖良

(51)Int.CI.

HO1L21/768(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

一种玻璃通孔的制作及互连的方法

(57)摘要

CN102820262A本发明公开了一种在玻璃上制备通孔及互连的方法，其步骤包括：多个玻璃基片通过聚合物的叠层粘结键合；制作垂直于叠层玻璃基片表面的通孔；叠层玻璃通孔的金属化填充；叠层玻璃的拆键合。本发明的优点是：采用玻璃基片叠层键合的方法将多层玻璃基片同时制作通孔，避免

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CN102820262A权利要求书1/1页

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1.一种玻璃通孔的制作方法，其特征是，包括以下步骤：

1)通过热压方法将多个玻璃基片叠层键合在一起，形成多层玻璃基片的叠层键合结构；

2)将键合后的叠层玻璃基片制作出垂直于叠层玻璃基片表面的通孔结构；

3)对叠层玻璃基片拆键合，达到玻璃基片分离。

2.如权利要求1所述玻璃通孔的制作方法，其特征是，所述玻璃基片叠层键合是通过聚合物材料键合方法实现的，其中聚合物材料是Polyimide、SU8和BCB中的一种，形成多层玻璃基片和Polyimide、SU8或者BCB的叠层结构。

3.如权利要求1所述玻璃通孔的制作方法，其特征是，在步骤2之前，还包括在叠层玻璃板基片一侧的表面制作通孔所需图形的工序。

4.如权利要求1所述玻璃通孔的制作方法，其特征是，所述通孔采用机械加工、激光加工、喷砂钻孔或者刻蚀中的一种方法进行制作。

5.如权利要求1所述玻璃通孔的制作方法，其特征是，所述通孔的孔径范围为5um-500um。

6.如权利要求1所述玻璃通孔的制作方法，其特征是，步骤3采用化学溶液溶解聚合物达到玻璃基片分离目的；或者使用电火花、线切割、刀片切割等方式对叠层玻璃基片进行拆分。

7.如权利要求1所述玻璃通孔的制作方法，其特征是，步骤3之后，对每片单独的玻璃基片进行清洗，以便于后续制作互连的工艺。

8.一种玻璃通孔互连的制作方法，其特征是，包括以下步骤：

1)通过热压方法将多个玻璃基片叠层键合在一起，形成多层玻璃基片的叠层键合结构；

2)将键合后的叠层玻璃基片制作出垂直于叠层玻璃基片表面的通孔结构；

3)在所述通孔的侧壁上采用物理沉积或者化学沉积方法制作粘附层；

4)将叠层玻璃基片的通孔进行金属化填充；

5)对叠层玻璃基片拆键合，达到玻璃基片分离。

9.如权利要求8所述玻璃通孔互连的制作方法，其特征是，在步骤3之前，对具有通孔结构的叠层玻璃基片进行清洗。

10.如权利要求8所述玻璃通孔互连的制作方法，其特征是，所述粘附层材料为Ni、Ta、Ti、Pt、Pd、A1N和TiN中的至少一种。

11.如权利要求8所述玻璃通孔互连的制作方法，其特征是，所述叠层玻璃基片通孔金属化填充通过电镀、化学镀、物理沉积或者液态金属填充的方式实现。

12.如权利要求8所述玻璃通孔互连的制作方法，其特征是，所述金属化填充采用Cu、Sn、W、Ti、Pt、Pd、Ni和Au中的一种作为填充材料。

13.如权利要求8所述玻璃通孔互连的制作方法，其特征是，在步骤5之前，采用化学机械抛光去除金属化填充后叠层玻璃基片上表面的金属。

14.如权利要求8所述玻璃通孔互连的制作方法，其特征是，在步骤5之后，对每片单独的玻璃基片采用清洗和表面平整化抛光的方法进行减薄至所需厚度。

CN102820262A说明书1/3页

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一种玻璃通孔的制作及互连的方法

技术领域

[0001]本发明涉及一种玻璃通孔的制作及互连的方法，属于微电子封装技术领域。

背景技术

[0002]随着人们对电子产品的要求向小型化、多功能、环保型等方向的发展，人