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CN113805820B 检查系统、检查设备和检查设备的控制方法 （佳能株式会社）.docxVIP

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  • 2026-03-14 发布于山西
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CN113805820B 检查系统、检查设备和检查设备的控制方法 （佳能株式会社）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN113805820B

    (45)授权公告日2025.05.13

    (21)申请号202110670192.7

    (22)申请日2021.06.17

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113805820A

    (43)申请公布日2021.12.17

    (30)优先权数据

    2020-1046702020.06.17JP

    (73)专利权人佳能株式会社

    地址日本东京都大田区下丸子3丁目30番2号

    (72)发明人林公生

    (74)专利代理机构北京魏启学律师事务所11398

    专利代理师魏启学

    (51)Int.C

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