CN103781949A 氧化镁薄膜的制作方法及处理板 （独立行政法人科学技术振兴机构）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN103781949A

(43)申请公布日2014.05.07

(21)申请号201280043872.5

(22)申请日2012.03.09

(30)优先权数据

2011-1975622011.09.09JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日

2014.03.10

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2012/0561912012.03.09

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2013/035360JA2013.03.14

(71)申请人独立行政法人科学技术振兴机构地址日本琦玉县

(72)发明人须崎友文细野秀雄藤桥忠弘户田喜丈

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021

代理人蒋亭

(51)Int.CI.

C30B29/16(2006.01)

B01D53/02(2006.01)

B01D53/04(2006.01)

B01J20/04(2006.01)

B01J20/34(2006.01)

B01J21/10(2006.01)

C23C14/08(2006.01)

权利要求书1