十五五：先进制程中的High-K介质、金属栅等材料突破在望.pptxVIP

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目录

一、摩尔定律的“续命神药”？十五五期间High-K介质与金属栅极如何重塑晶体管物理极限

二、从“高K”到“超高K”：专家深度剖析下一代介电材料的筛选图谱与集成难题

三、金属栅极的“功函数工程”：如何在埃米尺度下精准调控阈值电压与功耗

四、界面层的“原子级手术”：High-K/金属栅与硅通道的完美耦合如何决定器件命运

五、High-K介质的“可靠性焦虑”：面向十五五的TDDB与NBTI老化机制新认知

六、三维集成时代的“新基建”：环绕栅极与全栈互补氧化物赛道中的High-K材料革命

七、替代还是共存？探索High-K介质之外的铁电、负电容栅堆栈新