微机电系统（MEMS）技术 术语标准立项修订与发展报告.docx

*

《微机电系统（MEMS）技术术语》标准修订发展报告

EnglishTitle:DevelopmentReportontheRevisionoftheStandard“Micro-electromechanicalSystems(MEMS)Technology–Terminology”

摘要

微机电系统（MEMS）技术作为融合微电子、微机械、材料科学等多学科的前沿技术，是物联网、智能传感、生物医疗、消费电子等战略性新兴产业的核心基础。其技术术语的标准化是行业沟通、技术研发、产业协同和市场规范化的基石。本报告围绕国家标准《微机电系统（MEMS）技术术语》的修订工作展开。报告首先阐述了本次标准修订的紧迫背景：原标准发布于2010年，已无法涵盖过去八年MEMS技术飞速发展所产生的大量新工艺、新器件和新概念；同时，其重要的国际参考文件IEC62047-1已于2016年完成重大修订。为此，全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）组织开展了广泛的产业调研与文献研究。本次修订的核心内容包括：系统性地新增了“原子层沉积”、“硅通孔”、“超临界干燥”、“纳米压印”等21项反映当代技术热点的关键术语；对“近场显微镜”等术语的定义进行了科学化更新；并删除了部分过时或应用范围狭窄的术语。修订后的标准全面覆盖了MEMS领域的材料、设计、加工、封装、测试及器