原创力文档《半导体洁净室空气分子污染物（AMC）掺杂剂B和P测定
电感耦合等离子体质谱法》编制说明（预审稿）
一、工作简况
1.1立项目的和意义
随着信息技术的飞速发展，我国半导体相关的工业洁净厂房市场规模大幅增
长，而随着大规模集成电路芯片线宽不断变窄，超低浓度分子级别的气态化学污
染物已经成为了影响产业发展和良品率的主要因素。空气分子污染物（AMC）
即环境中有能力沉降于表面上形成单分子层(Monolayer)薄膜的气态化学污染物
质，有机污染会引起生产工具中不利的影响，同时增加集成半导体器件、磁盘驱
动、液晶显
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