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靶材探伤作业指导书

1.适用范围

本作业指导书适用于磁控溅射靶材、蒸发靶材等各类金属及合金靶材（包括平面靶、旋转靶、管状靶、异形靶）的无损探伤作业，涵盖靶材原材料（铸锭、坯料）、半成品（粗加工件、绑定前靶坯）及成品的表面缺陷、内部缺陷及结合面缺陷检测，可满足客户定制化探伤要求及YS/T418-2019《溅射靶材通用技术条件》等标准中的探伤要求。

2.引用标准

下列文件对于本作业指导书的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件：

GB/T11345-2013焊缝无损检测超声检测技术、检测等级和评定

GB/T9443-2007铸钢件渗透检测

GB/T18851.1-2012无损检测渗透检测第1部分：总则

GB/T18851.2-2012无损检测渗透检测第2部分：渗透材料的检验

GB/T18694-2012无损检测超声探伤仪性能测试方法

GB/T9445-2005无损检测人员资格鉴定与认证

GB18871-2002电离辐射防护与辐射源安全基本标准

YS/T418-2019溅射靶材通用技术条件

YS/T652-2007平面溅射靶材绑定技术规范

ASTME164-2020StandardPracticeforLiquidPene