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2026年1月第1期

电子通道衬度成像技术在晶体缺陷分析中的应用

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●王刚，胡波，兰楠，胡林，张林杰，杨智帆●

（1.工业和信息化部电子第五研究所，广东广州511370；

2.重庆赛宝工业技术研究院有限公司，重庆401332）

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摘要系统地探讨了扫描电镜电子通道衬度成像（ECCI）技术在晶体缺陷分析中的应用。首先阐明ECCI的成像原理，

继而结合3个典型实验案例，详细展示该技术在晶体学信息获取与缺陷表征中的实际效果。实验结果表明，ECCI能够清

晰呈现晶体中的位错、层错等微观缺陷，具备高分辨率、直观性强和操作便捷等优势。研究表明，电子通道像为晶体缺陷

的识别与分析提供了有效技术手段，对深入理解材料微观结构与其宏观性能之间的构效关系具有重要价值。

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关键词电子通道衬度成像；扫描电镜；晶体学；缺陷分析