CN104658907A 一种逆阻型绝缘栅型双极晶体管的制作方法 （江苏物联网研究发展中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104658907A

(43)申请公布日2015.05.27

(21)申请号201310590102.9

(22)申请日2013.11.20

(71)申请人江苏物联网研究发展中心

地址214135江苏省无锡市新区菱湖大道

200号中国传感网国际创新园C座申请人中国科学院微电子研究所

江苏中科君芯科技有限公司

(72)发明人张文亮朱阳军卢烁今田晓丽滕渊

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227

代理人王宝筠

(51)Int.CI.

HO1L21/331(2006.01)

HO1L21/60(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图7页

(54)发明名称

一种逆阻型绝缘栅型双极晶体管的制作方法

提髅第一尊也类型掺杂的第一半导体基片，所述第一半导体

提髅第一尊也类型掺杂的第一半导体基片，所述第一半导体基片的背面形成有第二导电类型参杂层和多个第一隔离槽

提供第二导电类塑穆杂的第二半导体基片，并采闸镀合工艺

得所述第二平导体基片的正面与所述第一半导体基片的背面

健合

来用表面减薄工艺将所