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AlB2型WB2薄膜性能调控：沉积工艺与N、C掺杂的协同影响

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学不断发展的进程中，薄膜材料凭借其独特的性能和广泛的应用领域，逐渐成为研究的焦点。从微电子领域的晶体管制造，到光电子领域的太阳能电池、LED等器件，再到航空航天领域的高温、抗氧化、耐磨涂层，薄膜材料都发挥着不可或缺的作用。其应用的多样性源于薄膜材料能够在不改变基体材料整体性质的前提下，为材料表面赋予特殊的性能，如高硬度、耐磨性、耐腐蚀性、光学性能等，极大地拓展了材料的应用范围和使用寿命。

AlB2型WB2薄膜作为一种新兴的硼化物硬质涂层，近年来备受关注，展现出了巨大的应用潜力。理论