CN111123652B 微影图案化的方法 (台湾积体电路制造股份有限公司).docxVIP

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  • 2026-03-23 发布于山西
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CN111123652B 微影图案化的方法 (台湾积体电路制造股份有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN111123652B

(45)授权公告日2025.06.24

(21)申请号201911044481.5

(22)申请日2019.10.30

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111123652A

(43)申请公布日2020.05.08

(30)优先权数据

62/752,6922018.10.30US

16/444,1752019.06.18US

(73)专利权人台湾积体电路制造股份有限公司地址中国台湾新竹市

(72)发明人欧阳盼盼

(74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司720

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