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- 2026-03-24 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119931046A
(43)申请公布日2025.05.06
(21)申请号202510109975.6G03F7/004(2006.01)
G03F7/40(2006.01)
(22)申请日2025.01.23
C23C18/40(2006.01)
(71)申请人化学与精细化工广东省实验室
H01B13/00(2006.01)
地址515000广东省汕头市金平区鮀江街
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