基于叠层栅介质的制备及介电与光学性能分析的实验教学设计.pdfVIP

第３８卷第５期大学物理实验Ｖｏｌ.３８Ｎｏ.５

２０２５年１０月ＰＨＹＳＩＣＡＬＥＸＰＥＲＩＭＥＮＴＯＦＣＯＬＬＥＧＥＯｃｔ.２０２５

文章编号:１００７￣２９３４(２０２５)０５￣０００７￣０６

基于叠层栅介质的制备及

介电与光学性能分析的实验教学设计

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王雷妮ꎬ周睿阳ꎬ胡鹏宇ꎬ蒋先伟ꎬ杨波

(１.合肥师范学院电子信息与集成电路学院ꎬ安徽合肥２３０６０１ꎻ２.安徽医科大学应用物理系ꎬ安徽合肥２３００３２)

摘要:微电子技术迈向纳米尺度ꎬ推动高性能介电材料成为提升集成电路性能的核心ꎮ针对透

明电子器件对高介电常数、低漏电流栅介质的需求ꎬ设计了一种面向微电子与集成电路专业