CN119717410A 基于灰度激光直写光刻的衍射光学元件设计与制造集成方法 （清华大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119717410A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202510111029.5

(22)申请日2025.01.23

(71)申请人清华大学

地址100084北京市海淀区清华园

(72)发明人罗毅徐云鹏臧梓涵韩彦军

(74)专利代理机构北京清亦华知识产权代理事

务所(普通合伙)11201

专利代理师白雪静

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

权利要求书3页说明书14页附图5页

(54)发明名称

基于灰度激光直写光刻的衍射光学元件设

计与制造集成方法

(57)摘要