1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 办公文档
  5. 产品手册

CN111941251B 一种抛光垫、抛光设备及硅片的抛光方法 （上海新昇半导体科技有限公司）.docxVIP

  • 0
  • 0
  • 约1.24万字
  • 约 25页
  • 2026-03-25 发布于山西
  • 举报

CN111941251B 一种抛光垫、抛光设备及硅片的抛光方法 （上海新昇半导体科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN111941251B

    (45)授权公告日2025.07.08

    (21)申请号202010659738.4

    (22)申请日2020.07.08

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111941251A

    (43)申请公布日2020.11.17

    (73)专利权人上海新昇半导体科技有限公司地址201306上海市浦东新区临港新城云

    水路1000号

    (72)发明人沙酉鹤谢越

    (74)专利代理机构北京市磐华律师事务所11336

    专利代理师高伟

    (51)Int.Cl.

    B24B29/02(20

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >