放热基板及其高效制造方法.pdfVIP

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21.申请号201380024083.1

22.申请日2013.05.07

23.优先权数据

2012-1067582012.05.08JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日

11.07

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2013/0628402013.05.07

(87)PCT国际申请的公布数据

W02013/168707JA2013.11.14

(71)申请人信越化学工业株式会社

地址东京

(72)发明人秋山昌次久保田芳宏川合信

(74)专利机构国际贸易促进专利商标11038

人

51.Int.CI.

H01L21/02(2006.01)

C30B29/04(2006.01)

H01L27/12(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图4页

(54