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半导体真空器件的通阀技术研究

目录

一、内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

二、高真空开关器件基础理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

2.1真空物理基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

2.2气体放电机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.3热阴极物理与发射特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.4器件开关过程分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

三、固态电子开关结构设计与优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.1器件总体结构方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.2关键功能单元设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

3.3材料选择与特性需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.4结构仿真与优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

四、关键制备