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铜陵洁净厂房施工方案

一、项目概况与编制依据

1.1项目概况

本项目位于铜陵市经济技术开发区，总建筑面积16000平方米，其中洁净生产区面积12000平方米，包含万级洁净区8000平方米、百级局部洁净区4000平方米，结构形式为钢结构主体+铝合金装配式围护。项目定位为半导体碳化硅晶圆片生产车间，核心工艺包括晶体生长、晶圆切割、光刻清洗等高精度工序，对室内洁净度（ISO5-7级）、温湿度（温度22±2℃，湿度45±5%）、压差（相邻区域≥5Pa）及振动控制（≤50Hz）有严格要求。

主要特点与难点：

洁净区与非洁净区交叉施工，需实施动态污染控制；

百级送风天花与工艺设备（如光刻机）的气流组织协同；

大面积环氧树脂自流平地面的平整度控制（误差≤2mm/2m）；

钢结构与洁净围护系统的振动隔离处理。

1.2编制依据

国家标准：《洁净室施工及验收规范》（GB20251-2025）、《建筑工程施工质量验收统一标准》（GB50300-2025）

设计文件：建筑施工图、洁净空调系统图、工艺设备布置图

材料标准：洁净室铝型材（GB/T3880.2）、高效空气过滤器（GB/T13554）

二、施工组织设计

2.1项目管理架构

项目经理部设5个专业部门，配置如下：

技术部：负责深化设计（如风管走向优化）、BIM模型搭建及技术交底；

施工部：分设钢结构、洁净装饰、机电安装3个专业班组，配