CN114036778B 一种光学特性建模的方法和装置 (上海精测半导体技术有限公司).docxVIP

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  • 2026-04-01 发布于山西
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CN114036778B 一种光学特性建模的方法和装置 (上海精测半导体技术有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114036778B

(45)授权公告日2025.07.15

(21)申请号202111425147.1

(22)申请日2021.11.26

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114036778A

(43)申请公布日2022.02.11

(73)专利权人上海精测半导体技术有限公司

地址201700上海市青浦区徐泾镇双浜路

269、299号1幢1、3层

(72)发明人张晓雷张厚道施耀明

(74)专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)31286

专利代理师黄海霞

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