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CN115480441B 光学临近修正方法、掩膜版、可读存储介质及计算机设备 （无锡华润上华科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-01 发布于山西
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CN115480441B 光学临近修正方法、掩膜版、可读存储介质及计算机设备 （无锡华润上华科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN115480441B

    (45)授权公告日2025.05.09

    (21)申请号202110597797.8

    (22)申请日2021.05.31

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN115480441A

    (43)申请公布日2022.12.16

    (73)专利权人无锡华润上华科技有限公司

    地址214028江苏省无锡市国家高新技术

    产业开发区新洲路8号

    (72)发明人孙鹏飞王谨恒陈洁朱斌张剑曹楠

    (74)专利代理机构华进联合专利商标代理有限公司44224

    专利代理师虞凌霄

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