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CN115881566B 在晶圆级别集成的厚度检测装置和vcsel单元的制备方法 （浙江睿熙科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-04 发布于山西
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CN115881566B 在晶圆级别集成的厚度检测装置和vcsel单元的制备方法 （浙江睿熙科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN115881566B

    (45)授权公告日2025.05.20

    (21)申请号202111159299.1

    (22)申请日2021.09.30

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN115881566A

    (43)申请公布日2023.03.31

    (73)专利权人浙江睿熙科技有限公司

    地址311113浙江省杭州市良渚街道通运

    街358号2幢101室

    (72)发明人林珊珊王立李念宜

    (74)专利代理机构上海领洋专利代理事务所(普通合伙)31292

    专利代理师罗晓飞

    (51)Int.Cl

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