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- 2026-04-06 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120060824A
(43)申请公布日2025.05.30
(21)申请号202510138932.0
(22)申请日2025.02.08
(71)申请人纳设智能装备（江苏）有限公司
地址226300江苏省南通市通州区金新街
道双福路126号半导体光电产业园N2
栋1、4层
(72)发明人王彦涛胡雄武赵宝鑫陈炳安
钟国仿
(74)专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有
限公司44205
专利代理师李莹洁
(51)Int.Cl.
C23C16/455(2006.01)
权利要求书3页
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