CN115516627B 在相邻特征之间形成导电管的方法及在相邻特征之间具有导电管的集成组合件 （美光科技公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN115516627B

(45)授权公告日2025.05.02

(21)申请号202180029468.1

(22)申请日2021.03.12

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN115516627A

(43)申请公布日2022.12.23

(30)优先权数据

15/930,0902020.05.12US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.10.19

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2021/0220562021.03.12

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2021