CN116057151B 用于调节氮化钛膜对钨膜的蚀刻选择比的蚀刻液组合物及利用其的蚀刻方法 （荣昌化学制品株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN116057151B

(45)授权公告日2025.06.24

(21)申请号202180057994.9

(22)申请日2021.07.05

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN116057151A

(43)申请公布日2023.05.02

(30)优先权数据

10-2020-00972142020.08.04KR

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2023.02.01

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/KR2021/0084752021.07.05(87)PCT国际申请的公布数据

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