CN120018756A 一种mems热电堆结构及其制备方法 (西安交通大学).pdfVIP

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  • 2026-04-09 发布于重庆
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CN120018756A 一种mems热电堆结构及其制备方法 (西安交通大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120018756A

(43)申请公布日2025.05.16

(21)申请号202510150730.8B81C1/00(2006.01)

G01J5/12(2006.01)

(22)申请日2025.02.11

(71)申请人西安交通大学

地址710049陕西省西安市碑林区咸宁西

路28号

(72)发明人夏勇唐昊赵立波韩香广

贾琛赵阳单王珍景蔚萱

(74)专利代理机构西安通大专利代理有限责任

公司61200

专利代理师王婷

(51)I

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