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半导体制造工艺技术演进与创新趋势研究

目录

一、引论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

研究动因与界定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

理论框架构建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

分析工具选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

二、集成电路生产流程演进．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

历史沿革概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

当代制造策略分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

技术里程碑回顾．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

三、前沿探索与突破方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

材料创新发展路径．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

工艺参数优化方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

多元技术融合趋势．．．．．．