制造工艺中的微米级尺寸偏差控制研究.docxVIP

制造工艺中的微米级尺寸偏差控制研究

目录

文档概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.3研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

微米级尺寸偏差的产生机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.1制造过程中的主要误差来源．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.2尺寸偏差的数学模型构建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.3典型工艺环节的偏差特征分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

微米级尺寸偏差控制技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.1设备精度提升策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.2工艺参数优化方法．．．．．．