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全自动晶圆探针台针痕检测及补偿应用.docx

全自动晶圆探针台针痕检测及补偿应用.docx

    毕业设计（论文）

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    毕业设计（论文）报告

    题目：

    全自动晶圆探针台针痕检测及补偿应用

    学号：

    姓名：

    学院：

    专业：

    指导教师：

    起止日期：

    全自动晶圆探针台针痕检测及补偿应用

    摘要：随着半导体工业的快速发展，晶圆探针台在半导体制造过程中扮演着至关重要的角色。然而，由于机械磨损、温度变化等因素，探针台在长时间使用后会出现针痕问题，影响探针与晶圆的接触质量，进而影响晶圆的良率。本文针对全自动晶圆探针台针痕检测及补偿问题进行研究，提出了一种基于机器视觉和深度学习的针痕检测方法，并设计了相应的补偿算法。实验结果表明，该方法能够有效检测

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