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排风系统施工方案

1.工程概况

本项目为某多层电子洁净厂房配套排风系统，总建筑面积约28000m2，地上四层，局部地下一层。排风系统服务区域包含光刻间、刻蚀间、扩散间、酸碱间、有机溶剂间、废液收集间、设备管廊及卫生间，总排风量132000m3/h，其中酸性排风45000m3/h、碱性排风28000m3/h、有机排风35000m3/h、一般排风24000m3/h。系统需满足ISO14644-17级洁净度背景下的微负压梯度（-5Pa～-15Pa），并保证末端排风罩面风速0.5～0.8m/s稳定。排风经洗涤塔+活性炭+沸石转轮浓缩+RTO高温氧化处理后高空排放，排放浓度满足DB11/501-2017《大气污染物综合排放标准》表2特别排放限值。

2.设计原则

2.1分区、分质、分压：按污染物种类、浓度、爆炸下限（LEL）及毒性终点浓度-2分级，独立设置排风支管，杜绝交叉污染。

2.2冗余与在线维护：关键生产设备排风采用“N+1”风机配置，单台故障30s内自动切换；洗涤塔循环泵、RTO燃烧器、沸石转轮减速机均设100%热备。

2.3节能与热回收：RTO出口180℃烟气经板式热交换器预热新风，回收效率≥60%；变频风机与阀门联动，系统总耗电指标≤0.35kWh/m3。

2.4防爆与防腐：有机排风管道