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超薄NbN薄膜HEB混频器：从理论设计到实践制备的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的今天，微波技术作为信息传输和处理的关键支撑，广泛应用于通信、雷达、天文学等众多领域。随着对信号处理精度和灵敏度要求的不断提高，高性能的微波器件成为了研究的焦点。超导混合器作为微波技术领域的新兴器件，因其独特的物理特性，在近年来受到了广泛关注。传统的微波器件，如高电子移动率晶体管（HEMT），虽被广泛应用，但存在热噪声等限制，在处理微弱信号时，难以满足日益增长的高精度需求。

基于超薄NbN薄膜的HEB混频器在这一背景下应运而生，展现出诸多优势。它具有高灵敏度，能够捕捉极其微弱