微纳光学元件的聚焦效应与宽光谱成像系统研究.pdfVIP

摘要

依托微纳平面光学元件结构轻薄的特点，利用微纳光学元件与传统光学相结合成为当

今的研究热点。多阶衍射透镜（MultilevelDiffractiveLens,MDL）作为具有代表性的微纳

元件之一，是一种人工设计的具有亚波长结构的二维平面光学器件，通过对光学相位分布

的精确控制，可以实现对光波的高度定制化调控。相比于传统光学系统，利用微纳光学元

件与传统光学元件相结合，有利于光学系统向轻量化、小型化、集成化方向发展。本文首

先分析了平面多阶衍射透镜的聚焦与成像性能，再基于其光学特性设计了带有微纳光学元

件的宽波段光学系统。考虑到传统光学设计软件中没有微纳元件的限制因素，本文在针对

使用微纳元件进行相位调控时，通过相位调制函数计算相位分布，建立相位网格面来等效

透镜，实现与传统光学设计软件的交互。本文结合理论仿真与实验验证的方法，实现了微

纳光学元件的聚焦效应与宽光谱成像系统的研究，主要研究内容包括以下三部分：

（1）MDL聚焦与成像性能测试。利用几何光学的物象关系，确定了MDL聚焦与

成像性能测试方法，完成了激光器、准直扩束系统和CMOS的选型，设计并搭建了兼容

100mm口径的聚焦性能和成像质量的实验光路，测试结果表明：MDL在0.4~