CN119967841A 半导体器件及其制备方法、设备 (上海积塔半导体有限公司).pdfVIP

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  • 2026-04-12 发布于重庆
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CN119967841A 半导体器件及其制备方法、设备 (上海积塔半导体有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119967841A

(43)申请公布日2025.05.09

(21)申请号202510175001.8

(22)申请日2025.02.17

(71)申请人上海积塔半导体有限公司

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