Jiliang光学器件周期极化铌酸锂脊波导器件说明书.pdf

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山东极量信息科技发展有限公司

周期极化铌酸锂脊波导器件规格书

※ 产品简介

铌酸锂光波导最常用的制备方法是质子交换法和金属扩散法,由于这两

种方法制备的波导器件波导与衬底层的折射率相差较小,对光的限制作用较

弱,且在制作过程中引入的外来离子会破坏铌酸锂晶体本身的性质,从而影

响到波导的性能。

基于铌酸锂单晶薄膜(LNOI)的脊型波导结构,大大增加了波导的核壳

折射率

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