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集成电路工艺多气体传感器数据采集系统的设计.docx

集成电路工艺多气体传感器数据采集系统的设计.docx

    题目：集成电路工艺多气体传感器数据采集系统的设计

    PAGEIII

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    摘要

    随着集成电路生产规模工艺线日趋复杂，大量出现单参数多点监测控制的工艺需求，一些工艺环节对真空度的精确度要求在不断提高。在不同的工艺点，对气体成分和压力都有不同的要求，因此需要实现同时对多气体传感器的控制与数据采集。

    本课题首先介绍了气体传感器的研究现状，在集成电路工艺中的气体传感器，分析了其主要性能和功能指标，给出了数据采集系统设计的步骤和纲要。重点研究的是多气体传感数据采集系统设计的软件部分。软件设计采用模块化思路将采集系统划分不同区域有不同的功

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