兰州大学现代材料研究方法第9讲 扫描电子显微.pptVIP

**扫描透射电子显微分析末级聚光镜把扫描电子束聚焦到样品表面并令其在样品表面做光栅扫描。如果样品的厚度比入射电子的有效穿透深度小得多，将有相当数量的透射电子被装在样品下方的电子检测器所检测。将在荧光屏上显示一幅透射电子信号图像。应该指出，这里所讲的透射电子是指由直径很小的高能透射电子束照射样品微区时产生的，因此这一信号的强度仅取决于样品微区的厚度，成分，晶体结构和位向。透射电子中既有弹性散射电子，也有非弹性散射电子。其能量大小取决于样品的性质和厚度。其中因激发等离子或内层电子电离而损失特征能量的非弹性散射电子是一种重要的信号。扫描透射电子像基本上不受色差的影响，像的质量要比一般透射电子为好。用电子能量分析器，选择能量为E0的弹性散射电子成像，或选择遭受特征能量损失ΔE的非弹性散射电子成像，像的质量更佳。由于ΔE与样品成分有关，所以非弹性散射电子像，即特征能量损失电子像也可用来显示样品中不同元素的分布。*常规扫描电子显微镜的缺陷样品必须干净、干燥。肮脏、潮湿的样品会使仪器真空度下降，并可能在镜筒内各狭缝、样品室壁上留下沉积物，从而降低成像性能并给探头或电子枪造成损害。这种限制使得对各种各样的含水样品不能在自然状态下观察。同样对挥发性样品也不能观察。样品必须有导电性。导电涂层又带来了新问题。电子检测器使用光电倍增管放大原始成像信号，它对光、热非常敏感，因此不能