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基于改进ResNet的晶圆缺陷模式识别研究（英文）.docx

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    毕业设计（论文）

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    毕业设计（论文）报告

    题目：

    基于改进ResNet的晶圆缺陷模式识别研究（英文）

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    指导教师：

    起止日期：

    基于改进ResNet的晶圆缺陷模式识别研究（英文）

    摘要：随着半导体产业的快速发展，晶圆缺陷检测技术成为关键环节。传统的缺陷检测方法存在检测精度低、效率低等问题。本文提出了一种基于改进ResNet的晶圆缺陷模式识别方法。首先，对ResNet网络结构进行改进，引入注意力机制，提高网络对缺陷特征的提取能力。其次，通过数据增强技术扩充训练数据集，提升模型的泛化能力。最后，在公开数

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