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20xx本科论文文献综述

黄

学号:201122140108冈文师献范综学述院

论文题目：用于原子光频钟的新型磁器件的设计作者：李政专业班级：物理学2011级01班指导教师：任铁未

20xx年1月16日

一、选题背景和意义

原子钟的发展已有60多年的历史。在此期间，人们对它的理论研究越来越深入，应用领域也越来越广泛。但是，原子钟的高精确度对工作环境的依赖性大，传统的原子钟必须要有复杂而精密的系统来维持，因此体积庞大，价格昂贵。寻求新的原理支撑，简化原子钟的结构，以微型化工艺推动原子钟更加广泛的应用成为一个重要的发展趋势。本文的研究工作就是在这种背景下得到了国家863计划支持而开展的。本论文在充分研究了原子钟的工作原理和微制造工艺的前提下，通过理论计算、有限元分析与实验等方法，对铷腔的封装结构和封装工艺进行了深入研究，并对铷封装专用设备进行了前期研制。本文主要从以下4个方面开展研究：首先是原子钟的基本理论：对铷原子结构，特别是超精细能级进行了深入的讨论，为铷腔的设计提供理论指导。其次是铷蒸气腔的设计及工艺：对铷腔的工作环境进行了深入研究，包括温度、磁场和缓冲气体；此外，对于硅腔体的MEMS制作工艺流程进行了研究，并对各种工艺进行了比较和分析。再次是